EO滅菌是醫療行業最常用的滅菌方法，約占所有滅菌醫療器械包裝的一半以上。EO是一種無色、易燃和致癌氣體，主要用作聚合物和產品如防凍劑的主要成分。滅菌過程包括包裝的預處理、進氣和放氣。
預處理是指將醫療器械包裝暴露在溫暖、潮濕的環境中，直到內部溫度和濕度均勻達到相對濕度（大約45℃和55%%至65%）。然后將包裝放入密封環境中，使它們暴露在EO氣體中。在經過預定的曝光時間后，再將EO氣體放掉，高溫有助于排除殘留的EO氣體。
eo滅菌
因為EO氣體需要能夠進入醫療器械包裝并與里面的醫療器械接觸，并且需要隨后能被排出包裝以降低氣體濃度從而降低毒性水平。因此，如果考慮使用EO滅菌方法，那么設計醫療器械包裝時，包裝材料的透氣性和滲透性。另一個需要考慮的就是壓力的變化，醫療器械包裝密封的強度既要能夠承受在滅菌過程中受到的壓力變化，但是又不能太強，以致影響最終用戶打開包裝的方便程度。
評價醫療器械包裝材料透氣性的最佳試驗之一是ISO5635-5空氣滲透性的測定。這個試驗使用的是一種稱為密度計的裝置，它使用一個由重力向下拉動的圓柱體來使已知體積的空氣通過多孔的材料。材料越多孔，氣缸越快脫落。
